气浮超精密平台

1.    大理石气浮平台基于空气轴承的基本原理，实现无摩擦  和无振动的平滑移动，大理石平台它具有运动精度高清洁  无污染等特点，同时还具有误差均化作用因而可用比较低  的制造精度来获得较高的导向精度。

2.   主要面向高分辨率晶圆切割、光学检测、高端激光加工等  行业，为行业提供高精度、高动态性能的运动系统解决方案

3.    高稳定性大理石基台；

4.    分辨率：可达1纳米；

5.    重复定位精度：优于0.5微米；

6.    直线度/平面度：优于1微米 。