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气浮超精密平台

1.    大理石气浮平台基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦  和无振动的平滑移动,大理石平台它具有运动精度高清洁  无污染等特点,同时还具有误差均化作用因而可用比较低  的制造精度来获得较高的导向精度。

2.   主要面向高分辨率晶圆切割、光学检测、高端激光加工等  行业,为行业提供高精度、高动态性能的运动系统解决方案

3.    高稳定性大理石基台;

4.    分辨率:可达1纳米;

5.    重复定位精度:优于0.5微米;

6.    直线度/平面度:优于1微米 。