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面板加工十五轴平台

1.    对各种玻璃面板进行快速切割、修复:手机面板玻璃、 TFT面板、OLED面板等

2.    采用平板式直线电机,搭配精密光栅尺

3.    重复定位精度±1μm,定位精度3μm

4.    速度可达1m/s,加速度1g XY正交度可达±3arcsec

5.    采用大理石作为底座,保证平台的稳态型与吸振能力

6.   结合上下料部分,直线电机行程可达5000mm