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高精密六轴龙门线轨运动台

六轴精密运动台,满足高速度、高加速度、高精度的产品定制  需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、  CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造业。

1.    X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驱电机驱动,保证高速度高  加速度和亚微米级精度。XY直线电机驱动,θ1、θ2直驱  DD马达驱动,Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸,断电  保护。

2.    速度可达1000mm/s,加速度1g;

3.    旋转轴重复定位精度1arcsec;

4.    XY正交2arcsec;

5.    高精度光栅尺反馈。