高精密六轴龙门线轨运动台
六轴精密运动台，满足高速度、高加速度、高精度的产品定制 需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、 CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造业。
1. X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2，直驱电机驱动，保证高速度高 加速度和亚微米级精度。XY直线电机驱动，θ1、θ2直驱 DD马达驱动，Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸，断电 保护。
2. 速度可达1000mm/s，加速度1g；
3. 旋转轴重复定位精度1arcsec；
4. XY正交2arcsec；
5. 高精度光栅尺反馈。
