高精密五轴运动平台

1.   X、Y、Z，K四个方向的位移运动

2.   X、Y高精度的步进和扫描运动

3.   Z向高精度的微动聚焦

4.   X、Y采用大理石基座、低摩擦、保证了运动平面度

5.   无铁芯直线电机驱动，降低推力波动，提高运动稳定性；

6.   高分辨率光栅系统作位置反馈。