高精密四轴线轨运动平台
1. X,Y,Z,Θ工作台,直驱电机可实现360°旋转,Z轴布置与大理石横梁,直线电机驱动垂向运动,配套平衡气缸支撑,防止断电掉落
2. 亚微米级重复定位精度
3. 速度可达1000mm/s,最大加速度1g
4. 单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2μm
5. X,Y两轴正交可达±1.0arcsec
6. 高分辨率光栅反馈
1. X,Y,Z,Θ工作台,直驱电机可实现360°旋转,Z轴布置与大理石横梁,直线电机驱动垂向运动,配套平衡气缸支撑,防止断电掉落
2. 亚微米级重复定位精度
3. 速度可达1000mm/s,最大加速度1g
4. 单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2μm
5. X,Y两轴正交可达±1.0arcsec
6. 高分辨率光栅反馈