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高精密四轴线轨运动平台

1.     X,Y,Z,Θ工作台,直驱电机可实现360°旋转,Z轴布置与大  理石横梁,直线电机驱动垂向运动,配套平衡气缸支撑,  防止断电掉落

2.    亚微米级重复定位精度

3.    最大速度1000mm/s,最大加速度1g

4.    单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2μm

5.    X,Y两轴正交可达±1.0arcsec

6.    高分辨率光栅反馈