平台优势：
1. X、Y、Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁；
2. 龙门结构，横梁可随Y轴运动；
3. XY微米级重复定位精度；
4. 速度可达500mm/s，最大加速度1.0g；
5. 单轴直线度可达±1.5μm，运动平面度可达±2.0μm
