平台优势:
1. X、Y、Z工作台,Z轴布置于平台大理石横梁;
2. 龙门结构,横梁可随Y轴运动;
3. XY微米级重复定位精度;
4. 速度可达500mm/s,最大加速度1.0g;
5. 单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2.0μm