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高精密三轴龙门线轨运动台

满足高速高精度产品的定制需求,适用于激光加工,CCD成像,  晶圆检测等

平台优势:

1.    X、Y、Z工作台,Z轴布置于平台大理石横梁;

2.    龙门结构,横梁可随Y轴运动;

3.    XY微米级重复定位精度;

4.    最大速度500mm/s,最大加速度1.0g;

5.    单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2.0μm